高頻LCR測試儀一般用于測試電感和電容。LCR測試儀能準確并穩定地測定各種各樣的元件參數，主要是用來測試電感、電容、電阻的測試儀。它具有功能直接、操作簡便等特點，能以較低的預算來滿足生產線質量保證、進貨檢驗、電子維修業對器件的測試要求。
高頻LCR測試儀測量步驟如下：
1. 設置測試頻率
2. 測試電壓或者電流水平
3. 選擇測試參數，比如Z、Q、LS（串聯電感）、LP（并聯電感）、CS(串聯電容）、CP（并聯電容）、D等
4. 儀器校準，校準主要進行開路、短路校準，**的儀器要進行負載校準
5. 選擇測試夾具
6. 夾具補償
7. 將DUT放在夾具上開始測試